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測頭頭型號
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F400
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F1
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F1/90°
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F10
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工作原理
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磁感應
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測量范圍(um)
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0~400
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0~1250
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0~10000
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低限分辨力(um)
|
0.1
|
0.1
|
10
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示值
誤差
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一點校準(um)
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±(3%H+1)
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±(3%H+10)
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二點校準(um)
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±[(1~3) %H+0.7]
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±[(1~3)%H+1]
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±[(1~3)%H+10]
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測試
條件
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*小曲率半徑(um)
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凸
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1
|
1.5
|
平直
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10
|
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*小面積的直徑(mm)
|
3
|
7
|
7
|
40
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|||
|
基體臨界厚度(mm)
|
0.2
|
0.5
|
0.5
|
2
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側頭型號
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N1
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CN02
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工作原理
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渦流
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測量范圍(um)
|
0~1250
|
10~200
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|
低限分辨力(um)
|
0.1
|
1
|
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示值
誤差
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一點校準(um)
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±(3%H+1.5)
|
±(3%H+1)
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||||
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二點校準(um)
|
±[(1~3) %H+1.7]
|
—
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|
測試
條件
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*小曲率半徑(um)
|
3
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僅為平直
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*小面積的直徑(mm)
|
5
|
7
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基體臨界厚度(mm)
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0.3
|
無限制
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